為認真貫徹落實蘇州市政府《“蘇州制造”品牌認證三年行動方案(2021~2023年)》要求,持續加大“蘇州制造”品牌影響力,培育和打造一批自主創新、品質高端、服務優質、信譽過硬、市場公認的品牌群體。2022年“蘇州制造”品牌國際認證聯盟依據《“蘇州制造”品牌認證管理辦法》的有關規定,組織認證聯盟相關成員機構根據《“蘇州制造”品牌認證通用要求》,對第三批申請“蘇州制造”品牌認證企業的產品是否符合質量卓越、管理精細、創新發展、品牌引領、社會責任、智能生產等要求進行了評定。經過審核,共有50家企業的54個產品通過了“蘇州制造”品牌認證,獲得“蘇州制造”品牌認證證書,其中蘇州慧利儀器有限責任公司申請的“相移式激光干涉儀”產品順利通過認證!
相移式激光干涉儀是慧利儀器的干涉儀系列產品。該類產品可廣泛應用于光學平面計量、半導體晶圓、半導體掩膜版基板、同步輻射、光刻機光學元件、航空航天折返成像系統、空間光學器件、強激光平板玻璃測量等領域,實現大口徑光學表面面形、透射波前、光學均勻性等參數的檢測。它采用經典的斐索型共光路設計,結構簡單、在適用于多種被測樣品的前提下,使用數字化相移分析方法實現高精度、多功能的檢測。
相移式激光干涉儀不僅實現了干涉測量技術從小口徑到大口徑的全面覆蓋,而且填補了國內制造業和國家質檢部門對高精度平面檢測設備需求的空白。